Zımparalama işleminde olduğu gibi, parlatma işlemi de bir önceki kademede oluşan hasarı gidermelidir. Bu, gittikçe incelen tane boyutlarındaki aşındırıcı parçacıklar kullanılarak sağlanır. Parlatma işlemi iki farklı kademeye ayrılabilir. .
1. Elmas ile parlatma işlemi, DP2. Si
2 O ile parlatma işlemi, OP 
   Mümkün olan en iyi yüzey düzgünlüğü ve yüzeyden en hızlı şekilde malzeme alımı sağlamak için aşındırıcı olarak elmas kullanılır. Benzer sonuçlar elde etmenizi sağlayabilecek başka bir aşındırıcı mevcut değildir. Elmas yüksek sertliğinden dolayı, bütün malzeme ve fazları kesebilme özelliğine sahiptir. 
   Bazı malzemeler, özellikle yumuşak ve sünek malzemeler, mümkün olan en iyi kaliteli yüzeyi elde etmek için son bir parlatma kademesi gerektirirler. Bu kademe için 0.04 mikron tane boyutu ve 9,8 pH değerine sahip olan kollodial silika kullanılır. Kimyasal reaksiyon ve ince, hasar vermeyen aşındırıcı tanelerinin kombinasyonu tamamı ile çiziksiz, deformasyonsuz numuneler elde etmenizi sağlar. OP-U, tüm malzemeler için mükemmel sonuçlar üreten bir parlatma süspansiyonudur. OP-S, kimyasal reaksiyonu artırıcı reaktifler ilavesi ile kullanılabilir. Bu süspansiyonun çok sünek malzemeler için kullanılmasını da uygun hale getirir. Düşük ve yüksek alaşımlı çeliklerin, nikel esaslı alaşımların ve seramiklerin son parlatma işlemi için asidik alümüna süspansiyonlar, OP-A, kullanılmaktadır. 
    Sarf Malzemeler
Parlatma işlemi parlatma keçeleri kullanılarak gerçekleştirilir. (Bakınız Parlatma Yüzeyleri Tablosu ) Elmas parlatma işlemi için mutlaka bir yağlayıcı kullanılmalıdır. Uygun parlatma keçesinin, elmas tane boyutunun ve yağlayıcının seçimi parlatma işlemi yapılacak malzemeye bağlıdır. İlk parlatma kademesi genellikle düşük yüzey yumuşaklığına sahip keçeler kullanılarak yapılır. Bu kademede yumuşak malzemeler için düşük viskoziteli bir yağlayıcı kullanılmalıdır. Son parlatma kademesi için, daha yüksek yüzey yumuşaklığına sahip keçeler ve yüksek viskoziteli bir yağlayıcı kullanılır. Herhangi bir malzeme için tavsiye edilen en uygun keçe “On Numune Hazırlama Yöntemi” nde mevcuttur.